近年，在这些规则规模中坚持处理空气进程，净化室定制，使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢？道理很简单，因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素，其间包含：1、---成长；2、工作人员感到室温舒适的规模；3、出现静电荷；4、金属腐蚀；5、水汽冷凝；6、光刻的退货；7、吸水性。
我们在测试洁净室是否满足使用要求时，必须做好送风量、排风量、气流以及送排风设备的测试。具体应该怎么操作呢？1.送风量充足，---稀释或消除室内产生的污染。2.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动，风淋净化室，受污染空气的流动达到低程度，空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。3.洁净室的送风不会---增加室内的污染。4.室内空气的运动状态可---密室内没有高浓度---区域。
相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，车间净化室，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，福建净化室，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。
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