并装局部洁净室(clean spot):将洁净室等级10,福州车间洁净室,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,福州洁净室设计,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较之洁净空间,福州福州洁净室,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,福州洁净室安装,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
a.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;b.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+送风口与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以---地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
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