国外洁净室的强度要求---,例如美国关于洁净室的几个标准的要求是.人工光300lx有较好的效果,净化室,当工件精细程度更高时500x也是允许的。对于要红灯照明的地方,如电子行业的光刻车间,其照度一般为(25—501x),净化室厂家,用天然光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,净化室定制,这也是为了节能而出现的一种动向。
净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(clean tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到---之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。---、食品业界及半导体业界均适用。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
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