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复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。

根据洁净室净化工程拟生产的产品的门类、品种或使用情况，福州手术洁净室，确定所设计洁净室净化工程的控制对象及技术要求。如对生物洁净室净化工程，其控制对象是空气中的尘粒、微生物；面不同产品或用途的生物洁净室净化工程，福州车间洁净室，对空气洁净度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不问的。又如集成电路生产用洁净室净化工程．其控制对象主要是空气中的尘粒；按集成电路的特征尺寸、集成度的不同，对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的，应披具体工厂的产品品种确定。