根据洁净室净化工程拟生产的产品的门类、品种或使用情况,确定所设计洁净室净化工程的控制对象及技术要求。如对生物洁净室净化工程,其控制对象是空气中的尘粒、微生物;面不同产品或用途的生物洁净室净化工程,福州净化室,对空气洁净度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不问的。又如集成电路生产用洁净室净化工程.其控制对象主要是空气中的尘粒;按集成电路的特征尺寸、集成度的不同,对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的,应披具体工厂的产品品种确定。
保持手术室“相对密闭状态”---室内空气的洁净度,风淋净化室,根据层流手术室空气净化的原理,室内的气压始终处于正气状态,否则有可能导致污染空气的流入,“相对密封状态”可以---室内空气的均速流动。减少不---的涡流形成。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
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