洁净室净化工程设计是各设计技术的综合,净化室定制,尤其是洁净室净化工程的工艺设计、洁净建筑设计、空气净化设计和各种特殊要求的设计技术的密切协同、相耳渗透和合理安排的综合设计。洁净室净化工程设计应做到顺应工艺(或使用)流程、合理选择各类设备和装置、尽力实现人和物流的顺畅短捷、气流流型选样得当、净化空调系统配置合理、各种特殊要求的技术措施得当,洁净厂房的平面、空间布置合理,实现---经济运行的洁净厂房设施。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,宁德净化室,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
近几年来,由于技术之创xin发展,净化室设计,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如---型积体电路之研究制造,已成为各guo在科技发展上---重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于---位。学微电子净化工程一般包括:1、 洁净生产区2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
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