气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,南平净化室,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
根据洁净室净化工程拟生产的产品的门类、品种或使用情况,净化室定制,确定所设计洁净室净化工程的控制对象及技术要求。如对生物洁净室净化工程,其控制对象是空气中的尘粒、微生物;面不同产品或用途的生物洁净室净化工程,对空气洁净度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不问的。又如集成电路生产用洁净室净化工程.其控制对象主要是空气中的尘粒;按集成电路的特征尺寸、集成度的不同,对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的,应披具体工厂的产品品种确定。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
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