并装局部洁净室(clean spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,净化室定制,四支支柱并加装活动轮,净化室安装,可为弹性运用。
管理区(包括办公、值班、管理和休息等)4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)材料1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用zhuan用氧化铝型材制造。2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层流式:房间---完全以ulpa过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。管理容易,净化室设计,运转开始短时间内即可达稳定状态,宁德净化室,不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,---之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
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