净化车间工程施工的基本要求。1、施工企业承担对净化车间工程内各设计图纸进行深化的施工详图设计时，应执行现行---<洁净车间设计规范>的相关规定。2、洁净车间工程净化车间工程中各---隐蔽工程，隐蔽前必须经建设单位或监理人员的验收及------。3、净化车间工程竣工验收的系统调试，应在建设单位和监理单位的共同参与下进行，由施工企业负责进行系统调试、检测，承担调试的单位应具有调试、检测专职---和符合本规范规定的测试仪器。
无尘室的平面装备几种方法：1.外廊盘绕式：外廊能够有窗或无窗，以兼作观赏和放置一些设备用，而通常选用10万级和外窗有---是双层密封窗。2.内廊盘绕式：无尘室设在---，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度等级通常需较高，乃至和无尘室同样的等级，此外无尘室设在---时，需注意并无外窗设置。3.两头式：无尘室设在一边，另一边设准无尘和辅佐用居室。4.基地式：为了节省用地、缩短管线，能够将无尘区设在基地，上下左右被各种辅佐房和荫蔽管道的空间包围起来，削减与外气的热交换。
净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定，在满意加工技术的条件下，---应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步，技术对温湿度的请求也越来越高，有---到达必定的温湿度等级。例如在---集成电路生产的光刻---技术中，车间净化室，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片，福州净化室，温度上升1度，就导致了0.24um线性膨胀，净化室设计，所以有---有±0.1度的恒温，一起请求湿度值通常较低，因为人出汗今后，对商品将有污染，---是怕钠的半导体车间，这种车间不宜---25度。
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