净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定,在满意加工技术的条件下,---应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步,技术对温湿度的请求也越来越高,有---到达必定的温湿度等级。例如在---集成电路生产的光刻---技术中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就导致了0.24um线性膨胀,所以有---有±0.1度的恒温,一起请求湿度值通常较低,因为人出汗今后,对商品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间不宜---25度。
实验室洁净度及压力梯度:主实验室:面积为150m2,净空高度为2.7m,三明净化室,规划温度(空调操控),规划湿度(能够思考添加抽湿机),净化室定制,洁净等级为三十万级—十万级,换气次数25次/小时,净化室厂家,相对压力为+10pa,规划送风量900m3/h,过滤器送风口的风量为1000 m3/h。缓冲室:面积为2.9m2,净空高度为2.7m,洁净等级为十万级,换气次数15次/小时,相对压力为+5pa,规划送风量110m3/h,过滤器送风口的风量为500 m3/h。
我们在测试洁净室是否满足使用要求时,风淋净化室,必须做好送风量、排风量、气流以及送排风设备的测试。具体应该怎么操作呢?1.送风量充足,---稀释或消除室内产生的污染。2.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。3.洁净室的送风不会---增加室内的污染。4.室内空气的运动状态可---密室内没有高浓度---区域。
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