相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。
在单向流洁净室内，无尘净化室，洁净气流不是一股或几股，而是充溢全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释效果，而是靠洁净气流推出效果将室内脏空气沿全部断面排至室外，净化室厂家，到达净化室内空气的意图。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”---称之为“被揉捏的弱空气射流”。洁净空气就比如一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，净化室安装，向前（下）推动，而使尘粒只能前（下）进，没有回来，把原有的含尘浓度高的空气揉捏出房间。在单向流洁净室以及单向流净化设备中，莆田净化室，能够发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来，破坏了上述“活塞流”的状况，损害---。关于和外界有开口相通的部分净化设备，例如洁净工作台，这种气流将引射外界污染气流，在规划上必定要减小过滤器边框处所占的无效面积，更要设法使空间的壁面尽量挨近过滤器有用迭风截面。
净化车间重要的空气净化系统，净化系统可以---车间内的洁净度，让车间处在一个无菌的环境中，但是在生产过程中需要打开空气净化系统，每天较长时间的系统运行中会消耗很多能源，这个时候就要考虑到节能问题，尽量减少耗能量，不同的区域要系统化的划分，计算好车间的温度、洁净度，提供合适的送风量，根据洁净的等级决定换气次数。避免从风管将空气温度降低，风管要注意保温性。还需要注意空气净化系统的密闭性，避免从接口泄漏，注意连接方式的密闭性。空调箱、冷水机组、风机等设备选择都很能源消耗有重要关系。
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