复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，福州净化室，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(clean tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，风淋净化室，少量之送风即可得到---之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。---、食品业界及半导体业界均适用。
运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，无尘净化室，000级。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
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