之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,无尘净化室,因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中------,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有---的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前
a.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;b.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+送风口与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以---地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
构造简单,南平净化室,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,风淋净化室,室内空间不易扩充。(2)垂直层流式:房间---完全以ulpa过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,净化室定制,不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,---之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
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